物理气相沉积/化学机械抛光设备，制造金属互联层并使其平坦化。计量与检测设备，确保每一步工艺的精确性。清洗设备，每一步工艺后都需要彻底清洗晶圆。

如果不是两位老人在计算成本的时候，一一给张焕解说列举，张焕也不会那么清楚。

之前是大方向制定计划，现在是真的深入踏足其中了。

此时是2012年，国内设备商如七星华创、北微、中微、中电科等才刚刚起步，产品大多只能满足部分中低端需求。