“第一个是光源的功率和稳定性问题。”他指着文件上的图表，“我们的激光等离子体光源，在产生极紫外波段的光时，转换效率极低，且输出功率波动较大，难以满足高强度、长时间晶圆曝光的需要。功率不足直接导致曝光时间延长，良品率下降；而功率不稳则会在晶圆上形成难以预测的缺陷。”

“第二个，也是更加棘手的是随之而来的热管理和热变形问题。”顾北舟翻到下一页，上面是复杂的热力学模拟图，“高功率激光轰击锡滴产生等离子体的过程，会释放巨大热量。这些热量不仅对收集光学元件的涂层寿命是严峻考验，更关键的是会引起光学系统乃至整个工件台的微观热变形。哪怕是纳米级别的形变，也足以让光刻精度前功尽弃，导致线路模糊或错位。目前我们的冷却系统效率根本跟不上热积累的速度。”