陈晖插话道：“千里之足，始于脚下，只要我们有决心，再加上超前的眼光，绝对就能成功，再说了，光刻机虽然零件众多，但螺丝外壳什么的，可以不算数，最核心的也不过是照明系统和投影物镜、工件台掩模台、自动对准、调焦调平测量、掩模传输、硅片传输、环境控制、整机框架及减振、整机控制、整机软件这些系统，再加上光刻胶，化学溶剂和显影液等辅助材料，需要个几十家高科技企业通力合作，我们完全可以办到。”