有几个最关键的部分，是大多数国家无法造出光刻机的原因。

比如光源。

光刻机要求发出的光源，必须足够‘纯净’和‘稳定’。

也就是说，光源必须发出能量且稳定。

并且，光谱必须是很窄很窄的紫光，这样才能保证加工精度和精度的稳定性。

还有一个难点，就是测量台和曝光台的移动控制。

因为两个部件是联动的，所以二者的移动同步性和精确性要求十分高，要达到纳米的精度。