光刻机的镜头要求纯度非常高，它是利用透镜的光学原理，将掩膜板上的电路图按比例缩小在用光源映射的硅片上，光在多次投射中会产生光学误差，在这个过程中要控制这个误差，所以要求的精度非常高。

再比如光源光刻机需要体积小，功率高，稳定性强的光源为了提供这样的光源就必须具有质量很好的能量控制器，电源要稳定，功率要足够大，否则光源发生器没办法稳定工作。